일본수출규제를 반도체 공정측면에서 접근

| 2019.12.04

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일본의 수출규제와 관련된 내용 역시 공정이나 공학적으로 접근할 수 있어서 좋았습니다.
대표적인 규제 품목으로는 EUV용 포토레지스트와 고순도 불화수소가 있습니다.
EUV는 Resolution의 개선과 multiple patterning 비용 개선을 위해서 필요합니다.
그러나 생산성 문제, 반사형 마스크 제작 문제, EUV용 레지스트 문제 등이 이슈로 작용하고 있습니다.
종류는 크게 organic과 inorganic이 있는데 전자의 경우 기존 화학물질을 기반으로 한 레지스크이며, 후자는 금속 산화물을
기반으로 한 레지스트입니다.
고순도 불화수소는 현재 액체와 기체 모두 수출규제 대상이며 일본에 대한 국내기업의 의존도는 약 90%정도입니다.
형석을 황산수소와 반응시켜 무수불산을 얻은 뒤, 불순물을 제거하는 공정을 거쳐 고순도 불화수소로 정제합니다.
기체는 반도체 식각 용도로 사용되며, 액체는 반도체나 디스플레이의 식각, 세정 용도로 사용됩니다.
추가적인 수출규제 품목은 반도체IC, 반도체 Fab 장비, 이송장치, Blank Mask, Silicon wafer 등이 있습니다.