| 2020.01.08
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- 1차 수출 규제품은 EUV용 PR과 고순도 불화수소- EUV의 필요성 : Resolution개선, 비용문제- EUV 문제 : 플라지마 광원을 흡수하므로 광손실이 크다 -> 광원의 intensity 개선이 팔요하다, EUV용 레지스트가 필요하다.등 원래 알고 있었던 내용보다 자세히 배울수 있었습니다.
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